KEYENCE VR-3100 3D 轮廓测量工作头适配控制器 VR-3000K，广泛应用于半导体 Package、BGA 焊球、MEMS 器件表面形貌检测。设备搭载 1 英寸 400 万像素单色 CMOS 图像传感器，配置两组投光双远心镜头（Double Telecentric Lens）与一组受光双远心镜头，工作距离（Working Distance）固定 75 mm。光学变焦范围 1～4 倍，搭载 RGB 三色 LED 环形观察光源与白色 LED 测量光源，图像输出支持 1024×768 pix、2048×1536 pix 两种分辨率。

测量模式分为大视野模式（Wide-field Mode）与高倍率模式（High Magnification Mode），可测高度依次为 10 mm（±5 mm）、1 mm（±0.5 mm），Z 轴显示分辨率 0.1 μm。设备环境使用条件为环境温度 15～30 ℃，相对湿度 35%～80% RH，无结露工况，整机工作头重量 22.5 kg。

二手设备日常保养要点：定期吹扫镜头光路，避免半导体粉尘附着；禁止触碰远心镜头镀膜层；控制存放温湿度防止 CMOS 传感器受潮；定期校准 Z 轴高度基准，测试光源亮度衰减；闲置时加盖防尘罩，减少光学元件老化。

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