ZEISS SUPRA 50 VP 属于 GEMINI 镜筒肖特基场发射扫描电镜（FE-SEM），搭载 Schottky Field Emission Gun 电子源，加速电压区间 0.02kV～30kV，适配半导体晶圆、薄膜微观形貌检测。设备高真空模式分辨率 1.2nm@15kV，2.0nm@1kV；可变压力 VP 模式下 30kV 分辨率 2.0nm，可变压力腔体工作区间 2～130Pa，可直接观测非导电半导体试样。整机放大倍率覆盖 12× 至 900000×，标配 InLens Detector、SE2 Detector、VPSE Detector 多组探测器，支持二次电子（Secondary Electron）与背散射电子（Backscattered Electron）成像。设备配备电动五轴样品台，支持最大 90° 倾斜，内置真空隔离阀，保护电子枪免受大气污染，电子枪常态维持 10⁻¹⁰ mbar 超高真空。
二手设备日常保养重点：持续稳定维持电子枪真空，禁止频繁开关机；定期清理样品仓污染物，规避晶圆碎屑造成腔体内放电；定期校准光阑（Aperture）、电子束对中；保持机房温湿度恒定，减少镜筒热漂移；闲置状态维持灯丝低温保温，降低发射源损耗。定期检漏真空系统，防止水汽侵蚀内部光学组件，保障半导体缺陷检测（Defect Inspection）成像稳定性。
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