NANOMETRICS NanoSpec M6500B为半导体（Semiconductor）行业专用白光干涉测厚测定装置（White Light Interference Thickness Measuring System），依托薄膜反射干涉原理，可无损检测晶圆（Wafer）表面透明薄膜（Transparent Thin Film）厚度与微观形貌，广泛适配光刻胶（Photoresist）、氧化层（Oxide Layer）等核心制程检测。该设备实测薄膜测量量程覆盖0.01μm～50μm，厚度测量重复性精度≤0.5nm，全域测量误差控制在±1nm以内，满足半导体微纳制程质控标准。

设备搭载高精度光谱探测模块，标准检测波长480nm，支持折射率（Refractive Index）手动校准，配备10X标准显微物镜，可完成晶圆定点精准扫描检测，适配各类半导体薄片基材无损检测需求。针对二手设备运维，常规保养需定期清洁光学镜头与载物台，每月校准波长参数与基准晶圆（Reference Wafer），保持设备供电稳定、无尘运行环境，杜绝粉尘污染光学光路，保障长期测量精度稳定。

该设备结构紧凑、适配性强，兼顾检测精度与运行稳定性，是半导体薄膜制程、精密元器件检测的核心设备，二手合规运维后可完全满足实验室与产线常规检测需求。

海翔科技 专业提供全球二手半导体设备。

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