MKS EDGE 500R40Z（RF Generator）额定工作频率 400kHz，连续射频输出功率 500W，阻抗匹配标准 50Ω，广泛应用半导体刻蚀（Etching）、薄膜沉积（Deposition）等离子体工艺。设备功率可调区间 0–500W，具备闭环功率控制（Closed-loop Power Control），内置多重保护机制，包含过反射功率保护、过温保护、过流保护、联锁保护（Interlock）。通讯端口搭载 RS232、ETHERNET、CEX 同步接口，支持主从联动控制（Master-Slave Operation）。供电规格适配三相 AC 200–208V，50/60Hz，采用风冷散热结构。

二手设备保养要点：断电状态下使用干燥压缩空气定期清理散热风道，防止粉尘堆积引发过热；周期性检查射频输出接口（RF Port）有无氧化、松动；长期停机需存放于恒温干燥、无腐蚀性气体环境；上机前执行空载测试，核验入射功率（Forward Power）与反射功率（Reflected Power）指标；建议每年开展性能校准，确认频率、输出功率精度。整机禁止非专业人员拆解射频功放模块。

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