该 AC DIST.BOX（AC Distribution Box，交流配电分配箱）为 300mm ASP ETCH CHAMBER（ASP 刻蚀工艺腔体）专属供电配套单元，适配 Centura 平台 300mm 硅晶圆干法等离子刻蚀制程。电气输入规格为三相 380V-480V AC、50/60Hz，整机额定功率 15kVA，内置 8 路独立交流输出通道，单通道额定最大输出电流 30A；内置 EMI 滤波电路，满载工况电压波动控制≤±0.3%，故障保护响应时长＜8ms，平均无故障工作时长 MTBF≥12000h，适配洁净室 Class 1 环境，稳定工作温湿度区间 10℃-40℃、相对湿度 10% RH-90% RH 无凝露状态。配套 ASP 刻蚀腔体本体适配标准 300mm Wafer（硅晶圆），搭载 ESC（Electrostatic Chuck，静电吸盘）承载结构，兼容 Cl₂、BCl₃、O₂等金属、介质刻蚀工艺气体，腔体本体铝合金真空腔体结构，腔壁温控最高 60℃，前级干式真空泵抽气速率 110m³/h，次级磁悬浮分子泵抽速 1600L/s，满足刻蚀制程高真空工艺环境要求。
二手设备日常保养要点：定期拆解清洁配电箱内部积尘与接线端子氧化层，每季度校验过压 OVP、过流 OCP 保护模块；腔体侧需周期性湿法清洗腔体内壁沉积副产物，检测 ESC 绝缘阻抗，每月校准配电输出电压精度，避免电压漂移造成等离子体放电异常；长期停机需通入干燥 N₂（氮气）密封保压，防止内部元器件受潮腐蚀。
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