该机型属于半导体晶圆检测正置显微镜（Upright Inspection Microscope），搭载 CFI60‑2 无限远光学系统（Infinity Optical System），适配最大 200mm 晶圆（Wafer）检测，支持明场 Brightfield、暗场 Darkfield、微分干涉 DIC、偏光 POL 多种观测模式，总放大倍率区间 25‑1000X，配置六孔电动物镜转换器（Motorized Nosepiece）。反射照明采用 12V50W 卤素光源，可搭载 Φ25mm 规格滤光片，视场数 F.O.V 可达 25mm，载物台兼容大尺寸基板，具备防静电涂层（Antistatic Coating），可对接 NIS‑Elements 图像软件完成图像采集与缺陷记录（Defect Review），适配洁净室 Cleanroom 作业环境。
二手保养方法：设备存放需维持恒温低湿环境，避免光学镜片（Optical Lens）沾染粉尘；禁止裸手触碰物镜、目镜镜片，使用无尘棉签搭配专用试剂清洁；定期检查卤素光源使用寿命，及时更换老化光源；维护载物台导轨，加注专用润滑脂，清理碎屑；定期开展视场、倍率校准，检查偏振组件状态；非专业人员禁止拆解镜体光学模组，闲置时加盖防尘罩。
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