该设备属于扫描白光干涉仪 Scanning White‑Light Interferometer (SWLI)，为半导体 Wafer 非接触式三维表面计量设备，垂直分辨率可达 0.1 nm，测量高度量程覆盖亚纳米至毫米级别，搭载 Michelson 与 Mirau 系列补偿物镜，可完成表面粗糙度 Roughness、台阶高度 Step‑Height、平面度 Flatness、薄膜厚度 Coating Thickness 检测。整机采用 CCD 图像采集模组，单场采集时间小于 10s，配套 MetroPro 分析软件，支持海量测点数据输出与 SPC 统计分析，适配洁净室 Cleanroom 工况，可完成 MEMS 器件、光学基板、半导体晶圆的形貌表征，无需样品预处理即可完成无损检测。
二手保养方法：设备需放置于隔振、恒温恒湿实验室，规避振动源；严禁裸手触碰干涉物镜 Objective 与光学窗口，采用无尘拭纸搭配光学专用溶剂清洁；定期校验 Z 轴扫描精度与系统校准标块 Calibration Standard，及时更新系统补偿参数；做好光源损耗监测，按时更换老化光源组件；载物台运动导轨定期除尘，按需加注专用润滑介质；非授权人员禁止拆解干涉腔模组，闲置时加盖防尘罩，定期备份测量软件配置文件。
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