该设备属于半导体离子注入 (Ion Implantation) 工艺使用的分离式直流高压电源 (High‑Voltage DC Power Supply),整机输出功率 8kW,型号后缀 104 代表最大输出电压 100kV,36 代表最大输出电流 36mA。三相输入 208VAC±10%,频率 47‑63Hz,采用 IGBT 变换器架构,具备 ACE 电弧计数与熄灭 (Arc Count and Extinguish) 功能,适配束流系统抗电弧工况。输出纹波 (Ripple) 0.1% Vp‑p,时间稳定度 0.5% 每小时,支持本地面板 (Local Control) 与 RS232 远程控制 (Remote Control),具备过压保护 (Over‑voltage Protection)、过流保护 (Over‑current Protection)、过温保护 (Over‑temperature Protection)、短路保护 (Short‑circuit Protection) 多重防护机制。整机分为机架功率转换器 (Power Converter) 与独立高压模组 (HV Unit) 两部分,为 19 英寸机架安装 (Rack‑mount) 结构。
二手设备保养需定期检查高压连接端子绝缘层,清除机箱内部粉尘,核对冷却风道无堵塞;上电前做绝缘阻抗检测,校验 ARC 保护回路功能;定期校准输出电压 (Output Voltage)、输出电流 (Output Current),保存测试记录,避免高压模组受潮,闲置状态下保持环境干燥通风。


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