二手海泰克 HITEK OL8000/104/36 高压电源技术规格详解
作者:
海翔科技
作者机构:
海翔科技
发表时间:
2026-08-14

#半导体

该设备属于半导体离子注入 (Ion Implantation) 工艺使用的分离式直流高压电源 (High‑Voltage DC Power Supply),整机输出功率 8kW,型号后缀 104 代表最大输出电压 100kV,36 代表最大输出电流 36mA。三相输入 208VAC±10%,频率 47‑63Hz,采用 IGBT 变换器架构,具备 ACE 电弧计数与熄灭 (Arc Count and Extinguish) 功能,适配束流系统抗电弧工况。输出纹波 (Ripple) 0.1% Vp‑p,时间稳定度 0.5% 每小时,支持本地面板 (Local Control) 与 RS232 远程控制 (Remote Control),具备过压保护 (Over‑voltage Protection)、过流保护 (Over‑current Protection)、过温保护 (Over‑temperature Protection)、短路保护 (Short‑circuit Protection) 多重防护机制。整机分为机架功率转换器 (Power Converter) 与独立高压模组 (HV Unit) 两部分,为 19 英寸机架安装 (Rack‑mount) 结构。

该设备属于半导体离子注入 (Ion Implantation) 工艺使用的分离式直流高压电源 (High‑Voltage DC Power Supply),整机输出功率 8kW,型号后缀 104 代表最大输出电压 100kV,36 代表最大输出电流 36mA。三相输入 208VAC±10%,频率 47‑63Hz,采用 IGBT 变换器架构,具备 ACE 电弧计数与熄灭 (Arc Count and Extinguish) 功能,适配束流系统抗电弧工况。输出纹波 (Ripple) 0.1% Vp‑p,时间稳定度 0.5% 每小时,支持本地面板 (Local Control) 与 RS232 远程控制 (Remote Control),具备过压保护 (Over‑voltage Protection)、过流保护 (Over‑current Protection)、过温保护 (Over‑temperature Protection)、短路保护 (Short‑circuit Protection) 多重防护机制。整机分为机架功率转换器 (Power Converter) 与独立高压模组 (HV Unit) 两部分,为 19 英寸机架安装 (Rack‑mount) 结构。

二手设备保养需定期检查高压连接端子绝缘层,清除机箱内部粉尘,核对冷却风道无堵塞;上电前做绝缘阻抗检测,校验 ARC 保护回路功能;定期校准输出电压 (Output Voltage)、输出电流 (Output Current),保存测试记录,避免高压模组受潮,闲置状态下保持环境干燥通风。


二手海泰克 HITEK OL8000/104/36 高压电源技术规格详解

 

二手海泰克 HITEK OL8000/104/36 高压电源技术规格详解

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