NIKON NEXIV VMR‑3020 属于 CNC 影像测量系统（CNC Video Measuring System），多用于半导体封装（Semiconductor Package）、冲压件、模塑构件的二维与部分三维尺寸检测。设备 XYZ 行程为 300mm×200mm×150mm，光学尺最小读数值 0.1μm，工件最大承载重量 20kg，负载 5kg 条件下 XY 轴 U1 精度 1.5+4L/1000μm，U2 精度 2.5+4L/1000μm，Z 轴激光自动对焦（TTL Laser AF）精度 1.5+L/150μm，L 代表被测长度单位 mm。XY、Z 轴移动速度最高 150mm/s，最大加速度 1000mm/s²，整机外形尺寸 690×730×1725mm，主机重量 200kg。配置 1‑15 倍光学变焦（Zoom），工作距离 50mm，搭载逐行扫描 1/3 英寸黑白 CCD（Charge‑Coupled Device），可选彩色 CCD；具备内外双层 LED 环形光源（LED Ring Illuminator），支持同轴激光对焦，配套 VMR Automeasure 测量软件，可兼容 CAD 导入与离线编程（Offline Programming）。
二手设备保养方面，需保障实验室温湿度稳定，避免粉尘侵蚀线性编码器（Linear Encoder）；光学镜头、CCD 窗口仅使用氮气气吹清除浮尘，禁止直接擦拭镜片；运动导轨定期检查防尘护罩完整性，避免碎屑进入传动机构；每周期校验光学尺与对焦精度，软件做好备份，搬运过程锁定运动轴，防止滑台磕碰移位。
海翔科技 专业提供全球二手半导体设备。
免责声明（Disclaimer）
一、内容溯源与适用范围（Source & Scope of Application）
本文全部技术参数、结构原理、机型适配及对比数据，均源自设备原厂官方资料、权威标准文献及公开招标验收文件，仅用于技术研究、方案对比及行业参考，不作任何商业用途。
二、内容效力与权责界定（Validity & Liability Definition）
本文观点与结论为通用技术参考，非设备原厂官方定论，不构成任何商业承诺、履约标准及验收依据，未经原厂实测核验，不得用于项目验收、举证追责。
三、风险承担与合规说明（Risk Assumption & Compliance Statement）
使用者擅自套用、篡改本文内容产生的一切风险与法律责任，由使用者自行承担，本文作者及所属单位不承担任何连带责任。若存在版权及侵权异议，将及时核实整改。