该 Metallurgical Microscope 采用 UIS2 无限远校正光学系统,支持 Bright‑field、Dark‑field、Nomarski‑DIC、Polarized light 多种观测模式,配置 5 孔物镜转盘,三目 U‑CTR30‑2 观察筒,视场数 FN26.5,瞳距调节区间 48‑75mm。反射柯勒照明搭载 12V‑100W 卤素光源,光强连续可调 1.0‑12.0V DC,内置 ND6、ND25 滤光组件。陶瓷同轴载物台 X 向行程 76mm,Y 向行程 52mm,粗调行程 25mm,微调最小刻度 1μm,最大样品高度 65mm,整机输入电压 100‑120V/220‑240V,设备重量约 10kg,多用于半导体 Wafer、Package 表面缺陷检测。
二手保养方法:设备检修需在 Class‑1000 Cleanroom 环境开展,物镜 Objective、目镜 Eyepiece 镜片仅使用光学无尘纸搭配专用试剂清洁,禁止干擦;定期校验 Focus 调焦机构阻尼,检查载物台 Stage 运动顺滑度;检查 Halogen 光源老化程度,及时更换衰减光源;接口、滤片槽做好防尘防护,闲置时加盖防尘罩;完成光学成像、视场均匀度复测,确认 DIC 差分干涉光路无偏移。
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