本型号为 Focused Ion Beam (FIB) 聚焦离子束专用集成高压电源,适配半导体 FIB‑Column 离子枪控制系统,具备多路浮地输出。
设备输入为 + 24Vdc,输入容差 ±5%,最大输入电流 5.5A,1 秒内浪涌电流小于 6A。加速器输出 Acceleration Voltage 最高 35kV,额定输出电流 30μA;配置浮地 Filament 灯丝、Extractor 提取极、Suppressor 抑制极多路输出,配套 Lens 镜头模块最高输出 30kV,支持固定 / 可逆极性切换。整机采用 Fiber‑Optic 光纤接口通讯,搭载硬件式高压安全互锁 Safety Interlock,输出具备超低纹波、高电压稳定度,满足离子束刻蚀 (Ion Beam Etching)、沉积 (Deposition) 工况需求,为 19 英寸机架式 (19” Rack Mount) 安装结构。
环境参数:正常工作环境温度 + 10℃\+45℃,0℃可工作但需延长预热时间;存储温度‑20℃\+60℃,相对湿度 0‑80% RH,无凝露,满功率工作海拔上限 2000m。
二手保养方面,断电充分放电后,定期清理风道、散热模组积尘,检查 Cooling Fan 风扇工况;紧固全部高压连接器、接线端子,排查 PCB 板电容有无鼓包漏液;每周期校验输出电压、电流精度,测试 OVP/OCP 保护功能;长期闲置需每月短时通电驱潮,禁止带尘、凝露环境上电,高压部件禁止非专业拆解。


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