堀场HORIBA Auto SE为全自动光谱椭偏仪（Spectroscopic Ellipsometer），是半导体薄膜（Semiconductor Thin Film）精准检测核心设备，适配氧化膜、氮化膜、光刻胶膜等多层薄膜结构检测，全系参数具备官方溯源性。设备光谱检测范围为440–1000 nm，搭载卤素灯+蓝光LED复合光源，搭配高灵敏度CCD检测器，光谱分辨率优于3 nm@546 nm，可满足半导体微纳薄膜光学参数检测需求。

设备支持多规格微米级测量光斑，涵盖25×60 µm至500×500 µm七种可切换光斑尺寸，适配晶圆微区、大面积全域检测；单点全光谱测量最快≤1 s，常规检测耗时5 s。光学检测精度稳定，偏振参数Ψ测量精度±0.05°、Δ测量精度±0.2°，折射率重复性n±0.001（1σ），薄膜厚度重复性可达d±0.1 Å或0.01%（1σ）。搭载XYZ三轴电动样品台，行程200×200×30 mm，支持全自动对位与薄膜均匀性Mapping检测。

二手设备保养需遵循原厂规范：定期清洁光学镜头与检测光路，杜绝粉尘污染影响光斑精度；每月校准偏振检测参数，保障椭偏测量稳定性；闲置时段保持设备通电待机，防潮防尘，维护电机传动与真空吸附机构工况，规避老化偏差。

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