MITUTOYO Crysta Apex C544 为高精度CNC三坐标测量机（CNC Coordinate Measuring Machine, CMM），广泛适配半导体精密零部件、晶圆结构件、封装器件（Packaging Device）尺寸与形位精度检测。

该设备三轴测量行程为X轴500mm、Y轴400mm、Z轴400mm，全域搭载空气轴承（Air Bearing）导向结构，最小显示分辨率可达0.0001mm（0.1μm）。设备标配温度补偿系统，可在16℃–26℃区间稳定维持标称测量精度，CNC自动驱动速度区间为8–300mm/s，适配半导体微纳结构高速精密检测工况。

二手设备运维方面，需常态化清洁三轴空气轴承导轨粉尘杂质，保障气浮稳定性；定期校准测头系统（Probe System），规避半导体小件检测的重复定位偏差；恒温恒湿工况下存放运行，杜绝温漂引发的精度衰减，定期更新设备补偿参数，延续整机测量性能。

该机型凭借稳定的全域精度、自适应环境校正能力，可满足半导体精密封装、微型结构件的尺寸公差与形位误差检测需求，是中小尺寸高精度工件检测的主流设备。

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