RIGAKU Ultima IV 为多功能 θ-θ 型 X 射线衍射仪（X-Ray Diffractometer, XRD），适配半导体薄膜（Thin Film）、多晶材料物相（Phase）、晶粒尺寸（Grain Size）、残余应力（Residual Stress）、极图（Pole Figure）与面内衍射（In-Plane Diffraction）表征。设备搭载 3kW 密封 X 射线发生器，Cu 靶标配，管电压区间 20–60kV，管电流 2–60mA，电源波动 10% 条件下输出稳定度 ±0、05%。测角仪半径 285mm，2θ 测量范围 - 3° 至 162°，最小步进 0、0001°，角度重现性 ±0、0001°，支持耦合与独立双轴扫描模式。系统配置 CBO 交叉光束光学系统，可切换布拉格 - 布伦塔诺（Bragg-Brentano）聚焦光路与平行光束（Parallel Beam），配备 D/teX Ultra 硅条探测器，最大计数率≥1×10⁶cps，线性范围≥4×10⁷cps，搭配程序可控发散狭缝（Divergence Slit）、散射狭缝（Scattering Slit）与石墨衍射束单色器。整机质量约 700kg，配套 SmartLab Studio-II 分析软件，可实现 Rietveld 精修、GIXRR 薄膜厚度拟合与 SAXS 小角散射测试。
二手设备保养方面，需保持环境温度稳定、相对湿度 20%–60%，隔绝振动与腐蚀性气体；每次测试后清洁样品台，防止样品粉末污染光路、探测器窗口。冷却循环系统定期更换冷却液，检查管路有无渗漏；停机超过一周再次启用前，必须执行 X 射线管老化（Tube Aging）流程，避免高压打火。定期核查测角仪原点、狭缝位置，备份仪器校准参数，测角仪内部精密导轨润滑交由专业工程师操作，禁止自行拆解光路与探测器组件。日常检查安全联锁与 X 射线快门，出现基线漂移、噪声抬升时及时停机排查。
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