本款 MKS C13002-05 属于 RF Plasma Generator 等离子射频发生器，额定输出功率 13kW，工作频率 1.985MHz，频率调谐范围 ±10%。功率控制精度在 500W 以内为 ±5W，501W 至满功率区间可达 ±1%，支持 Pulse 脉冲工作模式，脉冲上升沿、下降沿均小于 5μs，最小脉冲宽度 10μs，脉冲能量重复度＜3%。设备输入为三相 200/208VAC，电压浮动范围 ±10%，50/60Hz，最大额定电流 55A，射频输出接口采用 SQS 标准接口。通讯接口搭载 Ethernet 以太网与 RS232 串口，支持主从联动 Master/Slave 控制，适配半导体 Etch 刻蚀、PECVD 薄膜沉积腔体等离子激励。整机采用机架式水冷结构，内置功率检测模块、反射功率保护与安全互锁 Safety Interlock 回路，可实时监测 Load 阻抗，异常工况自动切断射频输出，降低 Process chamber 工艺腔体损坏风险。
二手保养方法：检修作业需在 ESD 静电防护环境开展；清理水冷回路水垢，检测冷却水流量与泄漏；检查 RF 同轴接口氧化、射频线缆绝缘层老化情况；执行空载与带载功率校验，检测反射功率保护功能；检测通讯端口信号稳定性，清理机箱内部粉尘；长期存放需保持干燥环境，定期上电老化跑合，避免电容长期静置衰减。
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