SHIMADZU SMX-2000 为微焦点 X 射线透视检测系统（Microfocus X-Ray Inspection System），多用于半导体封装（Semiconductor Package）、MEMS 器件内部缺陷检测。设备搭载开管 X 射线管（Open Tube），X 射线最大管电压 160kV，最大管电流 200μA，额定功率 21W，焦点尺寸可达 1μm，JIMA 标样空间分辨率 1μm。载物台可承载样品最大重量 5kg，样品放置区域尺寸宽 470mm、进深 420mm、高 100mm，载物台 X 行程 460mm，Y 行程 410mm，Z 行程 100mm，旋转角度 ±180°，倾斜角度 70°。成像系统配置数字平板检测器（Flat Panel Detector），100 万像素 CMOS 影像接收器，影像灰阶 12-bit，系统像解度 40LP/CM，理论放大倍数 8700 倍，标样实测放大倍数 5500 倍。设备供电为单相 AC200V±10%，额定功率 2KVA，D 种接地，整机重量约 2400kg。
二手设备保养方面，实验室环境温度维持 15–25℃，湿度控制 70% 以内，做好防震防尘。每次检测结束清理样品台残留碎屑，采用无水乙醇擦拭载物台。定期检查 X 射线管冷却回路，清理水路滤网，防止管路结垢。长期停机需关闭高压，对 X 射线管做断电保护，每半年采用标准样品完成成像精度校准，检查安全联锁（Safety Interlock）与机壳辐射泄漏剂量，探测器窗口加装遮光保护，禁止触碰铍窗口。
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