该型号为 MKS VoDM-C 系列 Vapor on Demand Module 蒸汽需求模块，主要用于半导体薄膜工艺，提供 DI Water 去离子水蒸汽精准供给，内置 Vaporizer 汽化单元与 MFC 质量流量控制单元。供电支持 110VAC@4A 或 220VAC@1.6A，工作环境温度区间 15℃至 45℃，最高适配海拔 2000m。液相入口介质为去离子水，进水压力维持 20~40psig，进水过滤精度要求≤1μm。蒸汽流量控制精度为 ±5% Full Scale，重复精度可达 ±0.2% Full Scale，响应时间可在 1s 内达到设定值 2% 误差范围，配备板载微处理器，支持模拟 I/O 信号通讯，可输出流量与下游压力监测信号。
二手保养方法：维护操作在 ESD 防静电工作台上进行，先检查管路有无 Condensation 凝露、Particle 颗粒沉积，校验内置 Pressure Transducer 压力传感器；定期疏通汽化腔，严禁硬质工具刮擦流道内壁；闲置保存环境控制温湿度，防止管路滋生水垢；装机前执行气密性检漏、加热回路测试与信号通讯校验，避免液体提前汽化影响工艺稳定性。
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