NIKON NEXIV VMR-1515 为 CNC 全自动非接触式影像测量系统，适用于半导体封装（Semiconductor Packaging）、MEMS 器件、PCB 微小结构二维与高度形貌检测。设备行程 X/Y/Z 为 150mm×150mm×150mm，最小读数分辨率 0.1μm，工件最大承载重量 20kg。在被测工件 5kg 工况下，XY 方向测量精度 U1 为 1.5+4L/1000μm，U2 为 2.5+4L/1000μm，Z 轴 TTL 激光自动对焦测量精度可达 1.5+L/150μm。光学配置搭载 1/3 英寸逐行扫描 CCD 相机，标配 8 段程控 LED 环形照明，支持明场、暗场、透射与落射照明；镜组为 5 段程控定倍变焦，变焦比 15 倍，工作距离 50mm，兼顾大视场搜寻与微结构精密测量。
二手设备保养需维持恒温 20±2℃、低振动环境，定期清洁光学窗口与载物玻璃，避免粉尘污染 CCD（Charge-Coupled Device）感光面；检查线性编码器防尘胶条，及时清理导轨碎屑，定期校准 CCD 畸变与坐标轴精度，闲置时做好光学镜头防尘保护，防止潮湿引发镜片霉变。
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