HITEK G203-75A 属于半导体工艺设备配套高压电源模块（High Voltage Power Module），多用于等离子体刻蚀（Plasma Etching）、薄膜沉积（Thin Film Deposition）设备供电单元。该模块交流输入（AC Input）规格为 208VAC±10%，工作频率 47Hz~63Hz，最大输出直流电压（DC Output Voltage）20kV，额定输出电流 75mA，额定输出功率 1500W。输出纹波（Ripple）≤0.15% Vp-p，电压稳定度（Voltage Stability）满载工况下优于 0.05%/h，具备恒压（Constant Voltage）、恒流（Constant Current）双模式切换。模块内置过压保护（Over-Voltage Protection）、过流保护（Over-Current Protection）、过温保护（Over-Temperature Protection）与电弧抑制（Arc Suppression）功能，支持模拟量远程控制（Analog Remote Control）与本地面板控制（Local Control），绝缘电阻（Insulation Resistance）≥1000MΩ，工作环境温度范围 0℃~50℃。
二手设备保养方面，需定期断电检测高压端子绝缘护套，清除机箱内部粉尘，避免高压爬电；核查冷却风道通畅性，防止散热不良触发过温停机；每季度校验输出电压、电流精度，检查线缆老化情况，高压测试前做好接地保护（Ground Protection）。
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