STM6-LM为三轴电动测量显微镜（3-Axis Motorized Measuring Microscope），适配半导体晶圆、MEMS器件、精密元器件的Metrology形貌与尺寸检测。载物台（Stage）行程X轴250mm，Y轴150mm；X轴测量精度(3+5L/250)μm，Y轴(3+5L/150)μm，L代表被测长度，单位mm。数显最小分辨率0.1μm/0.5μm可选，Z轴移动范围205mm，电动粗调速度4.8mm/s，Z微调支持四档切换，单圈调节量分别为800μm、400μm、200μm、50μm。光学系统采用UIS光学系统，配置MM6系列物镜、MM6-OCC10x十字线目镜，支持明场BF、反射照明，标配RS232C数据通讯接口，整机外形尺寸684mm×579mm×843mm，重量约170kg。
二手设备保养：光学镜片禁止徒手触碰，浮尘使用吹尘球清理，污渍采用擦镜纸搭配少量无水乙醇轻拭；载物台导轨定期清洁除尘，少量涂抹专用润滑脂，避免碎屑卡滞；设备放置于恒温、低湿、减振环境，停机后加盖防尘罩，长期闲置需放置干燥剂，定期通电驱潮，检查照明卤素灯与三轴传动部件状态。
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