Astron HFS属于Toroidal Remote Plasma Source（环形远程等离子体源）集成射频电源单元，射频工作频率400kHz，适配半导体CVD腔室清洗工艺，支持NF₃解离，额定气体流量上限15 SLM，NF₃解离效率大于95%。点火阶段通入Ar，点火压力区间1–4 Torr，后段工作压力8–15 Torr，支持100% Duty Cycle连续运行，等离子体电场控制在4–8 V/cm，降低腔体内溅射。整机能量转换效率85%–90%，内置闭环功率调节，适配EtherCAT、隔离I/O通信接口，润湿材质包含6061-T6 Aluminum、PEO涂层、Alumina、Chemraz密封件。

二手设备保养需定期检查冷却水回路，杜绝结垢堵塞；每周期核查射频线缆、同轴接头绝缘与驻波状态；清理等离子体腔体沉积物，检查氧化铝通道涂层有无损耗；上电前校验Ar、NF₃气路密封性，定期导出电源报警日志，监测Ignition时序与反射功率变化，避免匹配异常造成功率模块损伤；长期存放需干燥防尘，接头做好防护。

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