本机型搭载 UIS2 无限远校正光学系统(Infinity Corrected Optical System),适配半导体 Wafer、MEMS 器件、薄膜样品的形貌与荧光缺陷检测。整机采用固定载物台、物镜转盘 Z 向聚焦结构,Z 轴电动调节分辨率 0.01 μm,行程 20 mm,配置 7 孔电动物镜转盘,支持 1.25X 至 100X 物镜切换;标配 BX3-UCD8A 电动通用聚光镜,最高 NA 1.4,工作距离 0.63 mm,可摇摆切换适配低倍观测。
观察视场数 FN22,支持明场(Bright Field)、暗场(Dark Field)、相衬(Phase Contrast)、落射荧光(Epifluorescence,UV/B/G 激发)、简易偏光(Polarization)、微分干涉(DIC)多种观测模式。透射柯勒照明(Köhler Illumination)可选真彩 LED 或 12V 100W 卤素光源,落射荧光支持 100W 汞灯、光导照明,内置电动 ND 衰减轮调节光强。整机外形尺寸 294.5 mm×740.5 mm×582.5 mm,荧光配置自重 35 kg,工作温度区间 5 ℃–40 ℃。
二手保养需定期清洁滤光片组(Filter Cube)与物镜前表面,避免半导体工艺粉尘附着;定期检查电动转轴、超声波载物台润滑状态,闲置时加盖防尘罩,光源模块单独存放防潮,通电前确认通信线路无老化,避免频繁启停 Z 轴驱动组件。


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