MKS SPECTRUM 11002-00 是一款 RF Generator（射频发生器，亦称 RF Power Supply 射频电源），属中频 Mid-frequency 等离子体功率源，主要配套半导体 Plasma Etch（等离子体刻蚀）、PECVD 等 Thin Film Process（薄膜工艺）的功率供给。
射频输出 Output Power 为 11000W Max.（11kW），工作频率 Frequency 1.8–2.17MHz；铭牌 Part No. 为 SPECTRUM 11002-00，OEM P/N 0190-22201。交流输入 AC Input 为三相 3 phase 200–208VAC，额定电流 60A，50/60Hz，安装类别 Overvoltage Category II。散热方式为水冷 Water Cooling，进水流量 Min. 11.4 L/min（3 GAL/min），进水温度 Max. +35℃，进水压力 Max. 60 PSI / 414 kPa。通信接口为 POD / RS-232；后面板设 Interlock 联锁接口与 RF Output 同轴接头，前面板状态指示含 AC ON、INTERLOCK、FAULT、WARNING、RF ON。整机重量 56.8 kg（125 lbs），机架式 Rack-mount 安装，具备 CE Marked 认证，并通过 ETL Listed（UL 61010A-1 / EN 61010-1 / CAN/CSA C22.2 No.1010.1）。
二手保养方面，应定期检查水冷回路，清理水垢与过滤器，核对流量、水温与水压；检查 RF 同轴接头的氧化与紧固状态；吹扫机箱内部粉尘，确认散热风扇与联锁触点可靠；上电前排查水路渗漏，先空载后带载分步验证功率输出稳定性；存放环境保持干燥防尘。
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