该型号属于 MKS VoDM-C（Vapor on Demand Module，按需蒸汽供给模块）水汽供给单元，适配半导体薄膜工艺，无需载气（carrier gas）即可生成可控水蒸气。流量区间 300 sccm 至 3 slm，内置 3 台 mini-Baratron® 绝对压力传感器（absolute pressure transducer）、流量喷嘴（flow nozzle）、两路高温电磁阀（high temperature solenoid valve）与加热块（heater block），温控区间 30 ℃ 至 150 ℃，进出口采用 Swagelok® VCR® 接头，进出口管路配置常闭比例控制阀（normally closed proportional control valve），配套 AMAT 料号 3930-00855，多用于金属剥离腔（metal strip chamber）水汽供给。
二手保养方法：定期吹扫管路残留水汽杂质，检查加热块温控回路，校准 Baratron 压力传感器，避免阀件结垢卡滞；存放环境保持干燥低尘，闲置时密封 VCR 接口，上电前检查线缆绝缘与接地（ground）状态，防止水汽腐蚀电气组件。
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