MEMS 传感器温漂、迟滞、线性度与零点漂移管控，白光干涉仪检测

MEMS传感器在压力传感、惯性测量、智能车载及精密工业感知领域应用愈发普及，器件工作过程中的温漂特性、响应迟滞、输出线性度偏差及零点漂移问题，是制约传感测量精准度与长期工作稳定性的核心因素。这类性能劣化根源多为芯片膜片结构应力分布不均、材料热膨胀系数匹配差异及微加工制程形变缺陷，传统电学测试仅能获取宏观输出数据，无法溯源结构微观形变诱因，难以从工艺端精准排查参数漂移、线性失真及迟滞超标的底层原因，无法实现传感器性能前置化质控与精准优化调校。

白光干涉仪采用非接触式三维形貌精密测量原理，具备纳米级超高测量分辨率，可对MEMS传感器核心感应结构进行全域微观形变精准扫描表征。通过精准检测不同温度工况下结构微变形量、应力残留形变及加工形貌误差，有效关联结构形变与温漂、零点偏移、响应迟滞及线性度偏差的内在对应关系，量化各项结构诱因对传感器电学输出性能的影响权重。设备可快速完成多批次样品同步检测与数据比对，依托专业算法完成形变数据建模分析，为制程工艺优化、结构参数调校及性能误差补偿提供精准可靠的实测依据，从源头实现MEMS传感器各项关键性能指标的精细化管控与一致性校准。新启航 专业提供综合光学3D测量方案

大视野3D白光干涉仪——MEMS传感器纳米级测量全域解决方案

突破传统测量局限，定义MEMS传感器检测新范式！大视野3D白光干涉仪依托核心创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，以高效与精密兼具的优势，适配MEMS传感器全流程检测，重新诠释工业精密测量的核心标准。

核心优势：大视野+高精度，打破行业壁垒

打破行业常规局限，彻底解决传统设备1倍以下物镜仅能单孔使用、需两台仪器分别实现大视野观测与高精度测量的痛点。本设备搭载全新0.6倍轻量化镜头，配备15mm超大单幅视野，搭配可兼容4个物镜的转塔鼻轮，一台设备即可全面覆盖大视野观测与高精度测量需求，高效适配MEMS传感器复杂样品检测场景，无需频繁切换设备，大幅提升检测效率与数据精准度。

MEMS传感器实测应用图示

（以上为实测MEMS压力传感器芯片全景图，可清晰呈现芯片整体形貌，精准捕捉全域细节，为芯片外观及整体尺寸检测提供可靠支撑）

（图为MEMS梳齿状结构图，可精准还原梳齿微观形态，助力梳齿间距、尺寸精度等关键参数的精准检测，保障MEMS器件性能稳定性）

睿克光学——专业提供综合光学3D测量解决方案，深耕MEMS传感器检测领域，助力产业高质量发展！