引言

微型投影、车载显示与精密成像模组工作过程中，投影光斑分布不均、局部暗斑频发、画面成像噪点过多，是影响视觉呈现效果与光学产品良率的核心共性问题。此类成像故障大多并非光源本身故障所致，核心根源在于微透镜、照明光学镜片等核心元件表面面形精度不达标，存在微观波纹、局部曲率畸变、表面粗糙度超标及镀膜微观瑕疵等缺陷。传统光学照度检测、肉眼目视筛查等常规检测手段，仅能观测成像表面直观不良现象，无法溯源光学元件微观面形根本诱因，难以精准定位瑕疵点位与畸变数值，无法为光学调校和镜片加工整改提供有效数据支撑，亟需高精度非接触式面形检测技术实现缺陷根源精准管控。

白光干涉面形测量核心检测原理

白光干涉面形测量技术依托白光短相干干涉核心特性，结合显微垂直扫描架构与高精度相位解算算法，聚焦投影光学核心元件全域微观面形开展无损精密测量。区别于常规光学检测方式，该技术相干长度短、无相位缠绕干扰，可精准捕捉光学镜片表面纳米级微观凹凸、面形畸变与粗糙度细微差异。检测时通过纳米级压电扫描机构精准调控光程差，实时采集全域干涉条纹图谱，经系统算法重构元件三维真实面形数据，精准量化面形PV值、RMS粗糙度、局部曲率偏差等核心指标。通过实测面形参数与光学仿真模型对标，精准关联元件面形畸变与投影光斑不均、暗斑及画面噪点的对应关系，厘清成像不良与光学元件面形缺陷的内在耦合规律，实现成像问题溯源与面形参数同步检测。

测量方案应用价值与实操管控作用

白光干涉面形测量全程采用非接触式检测模式，不会损伤光学元件镀膜与精密工作面，测量精度可达纳米级别，检测数据重复性好、抗干扰能力强。该方案既可用于研发阶段光学元件面形参数精准标定，优化光学光路匹配设计，也适配量产环节零部件全检与不良品快速分选，快速筛除面形不达标工件，精准定位加工制程工艺短板，针对性修正镜片模压、抛光与镀膜工序参数，从源头遏制投影成像各类不良问题，稳定投影显示光学品质。新启航 专业提供综合光学3D测量方案

大视野3D白光干涉仪——光学镜片纳米级测量解决方案

大视野3D白光干涉仪，聚焦光学镜片精密测量，打造纳米级测量全域解决方案，突破传统测量局限，定义光学镜片检测新范式，以高效、精准的测量能力，适配光学镜片全流程检测需求。

设备凭借核心创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效与精准，助力光学镜片生产、加工环节的质量管控，保障镜片性能达标。

核心优势：大视野+高精度，突破行业局限

打破行业常规壁垒，解决传统设备1倍以下物镜仅能单孔使用、需两台仪器分别实现大视野与高精度测量的痛点。设备搭载全新0.6倍轻量化镜头，配备15mm超大单幅视野，搭配可兼容4个物镜的转塔鼻轮，一台设备即可全面覆盖大视野观测与高精度测量需求，无需频繁切换设备，大幅提升检测效率与数据精准度，完美适配光学镜片复杂测量场景。

光学镜片实测应用图示

（图示为光学镜片关键指标：含平面度误差、PV值、RMS值，精准把控镜片平面精度，保障镜片光学性能）

（图示为表面粗糙度：精度达6pm=0.006nm，精准表征镜片表面光滑度，适配高精度光学镜片检测需求）

（图示为实测涂层厚度：75.2nm，精准测量光学镜片涂层厚度，助力涂层工艺优化与质量管控）

（图示为 涂层表面质量3D形貌图，清晰呈现涂层表面状态，及时发现涂层缺陷）

特色测量功能：上下平面平行度测量

设备采用独特光路设计，可实现非透明产品的厚度和平面平行度测量，适配多层玻璃等光学部件的测量需求，进一步拓展光学测量场景。

（图示为多层玻璃厚度测量，精准获取多层玻璃厚度数据，保障光学组件装配精度）

睿克光学——专业提供综合光学3D测量解决方案，深耕光学镜片检测领域，助力光学产业高质量发展！