引言

微透镜及微透镜阵列作为微光学系统核心元器件，广泛应用于光电成像、光通信传感、精密光刻等前沿领域，弧面矢高Sag与表面曲率半径是决定其对焦精度、光束调制效果及光学成像性能的核心几何参数。传统接触式测量、机械轮廓扫描等检测方式，易对微透镜精密弧面造成压痕损伤，且测量分辨率低、重复性差，难以适配微型化、高精度微透镜元件的量产质检与科研标定需求，亟需非接触、纳米级精度的专项测量技术方案支撑检测工作落地。

测量核心原理与技术架构

白光干涉高精度测量方案依托宽谱白光相干干涉核心机理，结合垂直扫描显微干涉与相位解包裹算法开展检测工作。白光相干长度极短，仅微米级别，仅被测微透镜弧面测量点位与参考镜面达到等光程差时，方可生成清晰干涉条纹，规避单色激光干涉的相位模糊、测距漂移等固有问题。测量过程中，通过高精度压电陶瓷驱动机构实现垂直方向纳米级步进扫描，配合高分辨率CCD图像采集模块实时捕捉微透镜全域干涉条纹图谱，经系统软件算法解析条纹相位变化，精准重构微透镜弧面三维全域形貌数据。基于实测三维形貌模型，系统自动拟合测算微透镜顶点基准面与弧面最大凹陷深度，精准获取矢高Sag数值，同步依据球面拟合模型迭代计算弧面曲率半径，完成双参数一体化同步测量。

方案测量优势与实操适配性

该白光干涉测量方案全程非接触式检测，从根源杜绝微透镜光学镀膜及精密弧面磕碰、划伤风险，设备垂直测量分辨率可达0.1nm，横向测量精度适配微透镜微小尺寸单元，测量重复性误差控制在0.5%以内，远超传统测量工艺精度标准。同时，方案可适配球面、非球面各类规格微透镜及阵列元件，兼容科研研发高精度标定与工业批量快速抽检双重场景，有效规避传统测量方法操作繁琐、数据偏差大、效率偏低等短板，精准把控微透镜光学加工与装配核心品质指标。新启航 专业提供综合光学3D测量方案

大视野3D白光干涉仪——光学镜片纳米级测量解决方案

大视野3D白光干涉仪，聚焦光学镜片精密测量，打造纳米级测量全域解决方案，突破传统测量局限，定义光学镜片检测新范式，以高效、精准的测量能力，适配光学镜片全流程检测需求。

设备凭借核心创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效与精准，助力光学镜片生产、加工环节的质量管控，保障镜片性能达标。

核心优势：大视野+高精度，突破行业局限

打破行业常规壁垒，解决传统设备1倍以下物镜仅能单孔使用、需两台仪器分别实现大视野与高精度测量的痛点。设备搭载全新0.6倍轻量化镜头，配备15mm超大单幅视野，搭配可兼容4个物镜的转塔鼻轮，一台设备即可全面覆盖大视野观测与高精度测量需求，无需频繁切换设备，大幅提升检测效率与数据精准度，完美适配光学镜片复杂测量场景。

光学镜片实测应用图示

（图示为光学镜片关键指标：含平面度误差、PV值、RMS值，精准把控镜片平面精度，保障镜片光学性能）

（图示为表面粗糙度：精度达6pm=0.006nm，精准表征镜片表面光滑度，适配高精度光学镜片检测需求）

（图示为实测涂层厚度：75.2nm，精准测量光学镜片涂层厚度，助力涂层工艺优化与质量管控）

（图示为 涂层表面质量3D形貌图，清晰呈现涂层表面状态，及时发现涂层缺陷）

特色测量功能：上下平面平行度测量

设备采用独特光路设计，可实现非透明产品的厚度和平面平行度测量，适配多层玻璃等光学部件的测量需求，进一步拓展光学测量场景。

（图示为新启航多层玻璃厚度测量，精准获取多层玻璃厚度数据，保障光学组件装配精度）

新启航半导体——专业提供综合光学3D测量解决方案，深耕光学镜片检测领域，助力光学产业高质量发展！