引言
在煤化工、火力发电等工业领域，煤粉/灰渣输送阀是保障物料密闭输送的核心部件，其密封面平面度直接决定密封性能与设备运行稳定性。煤粉、灰渣等介质含硬质颗粒，对密封面存在强烈冲刷磨损，易导致平面度偏差，引发泄漏、设备停机等安全隐患与经济损失^{(3)}。传统接触式测量方法易损伤密封面且精度不足，无法满足纳米级测量需求，而白光干涉测量技术凭借非接触、高精度、高分辨率的优势，成为精密平面度测量的理想手段^{(1)}，因此开展其在输送阀密封面测量中的应用研究具有重要工程价值。
白光干涉测量原理
白光干涉测量基于迈克尔逊干涉原理，以宽光谱白光为光源，准直光束经分光镜分为测量光与参考光，分别射向被测密封面与高精度参考镜，两束反射光在分光镜处汇聚形成干涉条纹^{(1)}。当两光路光程相等时，各波长发生相长干涉，相机捕捉到的像素强度最高，通过记录不同位置的干涉信号，可重构密封面三维形貌^{(6)}。该技术垂直分辨率可达亚纳米级，且分辨率与视场无关，能一次性捕捉密封面微观纹理与平面度偏差，避免接触式测量的探针磨损与工件损伤问题^{(1)}。
测量实验设计
实验选取煤化工常用的碳化钨堆焊密封面输送阀作为被测对象，其密封面硬度达HRC60以上，表面存在轻微冲刷磨损痕迹^{(3)}。采用远心光路配置的白光干涉测量系统，单次扫描实现密封面大面积测量，结合专用分析软件提取平面度参数。实验前对被测件进行清洁处理，去除表面灰渣、油污，避免干扰测量信号；调节测量系统焦距，使干涉条纹清晰成像，设置扫描步距与采样密度，确保数据完整性^{(6)}。通过多组重复测量，验证测量结果的重复性，同时对比传统探针测量法，凸显白光干涉测量的高精度优势。
测量结果分析
实验结果显示，该测量方法可精准捕捉密封面微观凹凸缺陷，平面度测量误差控制在5nm以内，远优于传统方法的测量精度。密封面磨损区域的平面度偏差明显大于完好区域，最大偏差达32nm，与实际工况下的冲刷磨损规律一致^{(3)}。测量过程无需拆卸阀门，可实现在位检测，避免重复装夹误差，大幅提升测量效率^{(2)}。此外，该系统可生成密封面三维形貌图与平面度分析报告，为密封面修复、阀门质量管控提供精准的数据支撑。
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