摘要
光学镜筒定位面平面度直接影响镜片装配精度，易引发镜片微观形变，进而降低光学系统成像质量。白光干涉测量技术凭借非接触、纳米级分辨率优势，可精准表征定位面平面度与镜片形变特征。本文采用白光干涉测量技术，开展镜筒定位面平面度检测及镜片形变测量实验，探究平面度偏差对镜片形变的影响机制，为光学镜筒装配质量管控提供技术支撑。
关键词
白光干涉测量；镜筒定位面；平面度；光学镜片；形变测量
引言
光学镜片装配过程中，镜筒定位面作为镜片的支撑基准，其平面度偏差会产生不均匀装配应力，诱发镜片微观形变，导致光线折射偏差、成像模糊等问题。传统测量方法难以同时精准检测定位面平面度与镜片微观形变，而白光干涉测量可清晰呈现定位面微观形貌与镜片形变特征，为二者的关联研究提供高效、精准的检测手段。
实验方案
实验选用铝合金镜筒与石英光学镜片，镜筒定位面尺寸18mm×18mm，制备不同平面度偏差的镜筒样本。搭建白光干涉测量平台，调试光路确保检测稳定性，先对镜筒定位面进行全域扫描，采集平面度数据；再将镜片装配至镜筒，测量镜片装配后的形变数据，对比分析定位面平面度与镜片形变的对应关系。
实验结果与分析
实验表明，白光干涉测量可精准检测镜筒定位面平面度与镜片形变，平面度测量精度达±2nm，形变检测误差小于3%。当定位面平面度偏差≤0.003mm时，镜片形变量小于40nm，可满足光学系统成像要求；当偏差超过0.007mm，镜片形变量增至100nm以上，严重影响成像质量。分析可知，定位面平面度偏差越大，装配应力越不均，镜片形变越显著，白光干涉技术可实现二者同步检测，为装配工艺优化提供数据支撑。
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