摘要
镜筒定位面平面度是决定光学系统光轴精度的核心因素，平面度偏差易导致光轴偏移、倾斜，进而影响光学系统成像稳定性。白光干涉测量技术凭借非接触、纳米级精度优势，可精准表征镜筒定位面平面度特征。本文采用白光干涉测量技术检测镜筒定位面平面度，探究平面度偏差对光轴精度的影响规律，为光学镜筒装配及光轴精度管控提供技术支撑。
关键词
白光干涉测量；镜筒定位面；平面度；光轴精度；影响分析
引言
光学系统的光轴精度直接决定成像质量与工作可靠性，镜筒定位面作为光学镜片的装配基准，其平面度偏差会导致镜片装配倾斜，引发光轴偏移，破坏光轴一致性。传统测量方法难以精准捕捉定位面微观平面度偏差，无法有效关联平面度与光轴精度的内在联系。白光干涉测量可清晰呈现定位面微观形貌，实现平面度精准检测，为探究其对光轴精度的影响提供可靠技术手段。
实验方案
实验选用铝合金镜筒，定位面尺寸18mm×18mm，制备不同平面度偏差的镜筒样本。搭建白光干涉测量平台，调试光路确保检测精度，对镜筒定位面进行全域扫描，采集平面度数据；将标准镜片装配至镜筒，采用光轴偏差测量仪检测光轴偏移量，对比分析不同平面度偏差与光轴精度的对应关系。
实验结果与分析
实验表明，白光干涉测量可精准检测镜筒定位面平面度，测量精度达±2nm。当定位面平面度偏差≤0.003mm时，光轴偏移量小于5″，满足光学系统光轴精度要求；当偏差超过0.006mm，光轴偏移量增至12″以上，严重影响系统成像。分析可知，平面度偏差导致镜片装配基准倾斜，进而引发光轴偏移，平面度偏差越大，光轴精度越低，白光干涉技术可实现平面度精准检测，为光轴精度管控提供数据支撑。
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