汉民微测 eScan 320 是面向32nm 制程的半导体掩模（Photomask）缺陷检测系统，核心适配6 英寸 / 8 英寸掩模，兼容亮场（Brightfield）与暗场（Darkfield）双模式检测。系统采用DUV 深紫外照明，检测灵敏度达50nm，可精准捕捉微粒（Particle）、图形偏差（Pattern Deviation）、关键尺寸变异（CD Variation）等缺陷。其分辨率为1280×800，扫描视场45°（水平）/30°（垂直），单小时检测产能（Throughput）达12 片，重复定位精度 **±0.1μm**。设备运行环境要求温度20-25℃、湿度40%-60%RH，功耗 **≤2.5kW**，具备自动缺陷分类（ADC）与数据追溯功能。

二手设备保养需规范操作：每日用无尘布清洁光学镜头与外壳，每周检查照明模块与导轨润滑状态，每月校准检测精度并清理过滤器，季度检查电路连接与电子枪稳定性，长期闲置需断电防尘并定期通电驱潮。

海翔科技 专业提供全球二手半导体设备。

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