SHIMADZU EPMA-1720电子探针显微分析仪（Electron Probe Micro Analyzer，EPMA）是半导体微观成分检测、微区形貌分析的精密设备，搭载波长色散X射线光谱仪（Wavelength Dispersive Spectrometer，WDS），适配半导体晶圆、封装材料微区元素定性定量检测。该设备标配4英寸罗兰圆（Rowland Circle）光学结构，X射线取出角（Take-off Angle）为52.5°，可搭载2-5道全聚焦型X射线分光器，分析元素范围覆盖4Be～92U，可精准检测半导体轻元素B、C、N、O，弥补能量色散光谱仪（Energy Dispersive Spectrometer，EDS）检测短板。
设备核心硬件参数均源自岛津官方公示及高校设备招标资料：配置钨丝（W）/六硼化铈（CeB6）双类型电子枪，加速电压0-30kV，二次电子图像分辨率最高可达5nm，背散射电子分辨率20nm，放大倍率区间40-4000倍，可满足半导体微纳米结构高精度观测需求。
二手设备需落实精细化保养规范：日常保持真空腔体高真空环境，定期校准电子枪束流与分光器光路，清洁分光晶体及探测器组件，规避粉尘污染与束流偏移问题，保障设备长期分析精度与运行稳定性。
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