该机型归属 NT510 单臂洁净搬运机器人序列，适配半导体 Clean Room（洁净室）Wafer（晶圆）、FOUP（晶圆传送盒）转运场景，搭载 D60/D61 控制器，具备 4 运动轴，最大作业伸展半径 1230mm，Wafer Center（晶圆中心点）重复定位精度 ±0.1mm，洁净等级达到 ISO Class 5 标准，符合 SEMI S2 环境安全、SEMI F47 电压瞬变耐受行业规范。运动轴参数：θ1（JT2）旋转行程 340°，Z 轴（JT3）升降行程 470mm，θ2（JT4）旋转行程 340°，H1 轴可选扩展至 380°；电气输入为单相 AC208V±10%、50/60Hz，标配 2 路 RS232C、Ethernet 通讯接口，数字输入通道最高 96 路、输出 80 路，搭载软硬件双重 Collision Detection（碰撞检测）模块。产能方面，搭配 Aligner（晶圆校准器）时 WPH（每小时晶圆吞吐量）280 片，无校准器可达 400WPH，选配定制抓手后峰值吞吐量可至 700WPH，单机无需线性轴即可对接 4 组 FOUP 料库。
二手设备保养要点：洁净腔体内臂体每周吹扫无尘氮气，规避 Particle（颗粒物）污染；伺服电机绝对值编码器每季度校准一次，定期备份控制器 K-Utility 程序；线缆接头、抱闸组件每半年检测紧固度；闲置设备保持控制器通电待机，避免伺服驱动器受潮，每年检测洁净度等级与重复定位精度，超标及时保养调校。
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