泛林 2300 KIYO E SERIES 气体控制箱（Gas Box）为 300mm 晶圆蚀刻设备核心模块，负责工艺气体精准输送与控制。电气规格适配 208VAC±10%/-15%，频率 50/60Hz，满负载电流 41A，主断路器容量 70A，满足半导体车间供电标准。

气体控制性能优异，支持 8 路气体并行输入，搭载 MKS 原厂质量流量控制器（MFC），流量控制精度达 ±0.5sccm，响应时间＜100ms，可稳定管控 Cl₂、BCl₃、Ar 等腐蚀性及特种气体。压力稳定性控制在 ±0.1%，进气最大耐压 150PSIG，配 PTFE 膜气体过滤器，颗粒拦截效率＞99.9999%，压降＜0.5kPa，保障气体洁净度。

二手设备保养需规范执行：定期校准 MFC 流量精度，检查管路密封性防止泄漏；更换 PTFE 过滤器滤芯，避免颗粒污染；清洁控制箱散热风道，确保温控稳定；检测电路接头与接地状态，保障电气安全。

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