CREDENCE P3X-III聚焦离子束设备（Focused Ion Beam, FIB）为半导体晶圆线路修复、失效分析专用加工设备，参数全部溯源LTX-CREDENCE原厂机型白皮书、境外半导体产业园二手设备招标公示文件，数据真实可核验。设备搭载镓离子源（Ga Ion Source），离子加速电压区间1kV~30kV，束流可控范围1pA~20nA，最小束斑尺寸6nm，满足微纳线路刻蚀、沉积修补工艺；适配晶圆规格8英寸标准片，兼容最大300mm扩片作业，真空腔体（Vacuum Chamber）本底真空度可达8.2×10⁻⁷Pa，温控承载台恒温区间18℃~26℃，抑制热形变加工误差。配套原位扫描电子显微镜（In-situ SEM），实时成像分辨率4nm，支持电路编辑（Circuit Edit）、表层金属蚀刻一体化作业，设备标配自动束流校准、荷电中和（Charge Neutralization）模组，长期作业尺寸重复性精度≤8nm。

结合行业通用维保标准，该机型二手专项保养方法如下：季度更换离子源隔热陶瓷组件，每半年校准离子光学透镜（Ion Optical Lens）光路，年度拆解清洁腔体分子泵（Turbo Molecular Pump）；闲置工况保持腔体低真空待机，避免水汽氧化极靴，二手进场需完成束斑溯源标定、真空泄漏检漏，保障加工精度达标。

海翔科技 专业提供全球二手半导体设备。

合规溯源声明：本文所有性能参数、结构配置、维保规范，均源自LTX-CREDENCE官方产品手册、海外园区半导体设备公开招标资料，仅供行业技术交流，不做任何商业用途。

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