二手蔡司 ZEISS LSM 780 显微镜技术规格详解
作者:
海翔科技
作者机构:
海翔科技
发表时间:
2026-06-17

#半导体

本机型为 Laser Scanning Confocal Microscope(激光扫描共聚焦显微镜),适配半导体微结构检测、Wafer 薄膜荧光表征等场景。激光系统标配 Diode 405nm、Multiline Argon(458/488/514nm,功率 25-35mW)、DPSS 561nm(20mW)、HeNe 633nm(5mW),搭载 8 通道 AOTF 声光调制器,激光切换时长<5μs,光路光谱覆盖 350nm-1100nm。扫描单元采用独立 X/Y 双振镜扫描,最大成像像素 6144×6144,光谱分辨率 3nm,34 通道 GaAsP(Gallium Arsenide Phosphide)阵列检测器,量子效率约 40%,搭配 2 路普通 PMT、透射光 T-PMT,支持同步多光谱采集;扫描变焦区间 0.6×-40×,512×512 分辨率下最高 8 帧 / 秒成像。硬件配套 Axio Observer Z1 倒置主机,标配 10× 目镜(视场数 23),可搭载 Plan-Apochromat 系列物镜,系统控制软件为 Zen Black。

本机型为 Laser Scanning Confocal Microscope(激光扫描共聚焦显微镜),适配半导体微结构检测、Wafer 薄膜荧光表征等场景。激光系统标配 Diode 405nm、Multiline Argon(458/488/514nm,功率 25-35mW)、DPSS 561nm(20mW)、HeNe 633nm(5mW),搭载 8 通道 AOTF 声光调制器,激光切换时长<5μs,光路光谱覆盖 350nm-1100nm。扫描单元采用独立 X/Y 双振镜扫描,最大成像像素 6144×6144,光谱分辨率 3nm,34 通道 GaAsP(Gallium Arsenide Phosphide)阵列检测器,量子效率约 40%,搭配 2 路普通 PMT、透射光 T-PMT,支持同步多光谱采集;扫描变焦区间 0.6×-40×,512×512 分辨率下最高 8 帧 / 秒成像。硬件配套 Axio Observer Z1 倒置主机,标配 10× 目镜(视场数 23),可搭载 Plan-Apochromat 系列物镜,系统控制软件为 Zen Black。

二手设备专项保养方法:设备存放环境恒温 20-25℃、湿度 40%-60%,放置防震光学平台;每次使用后用蔡司专用清洁液擦拭 Objective 物镜油镜残留,每周吹扫扫描振镜光路防尘;每月校准 Pinhole 针孔、XYZ 电动载物台,每季度执行激光光轴校正;激光器开机预热 30min,关机先关闭 Zen 软件,待氩离子激光风扇停转后断电;长期闲置需加盖防尘罩,每两周开机驱潮,传动丝杠半年加注专用润滑脂,避免光路漂移、检测器信噪比衰减。

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二手蔡司 ZEISS LSM 780 显微镜技术规格详解

 

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