本模块为 2300 系列 Etcher 配套 VTM（Vacuum Transport Module，真空传输模块），适配 300mm（12 英寸）Wafer，供电规格三相 208VAC，电压波动耐受 ±15%，适配 50/60Hz 工频，整机满载电流 35A，主断路器额定电流 320A，符合 SEMI S23 洁净安全标准。传输单元搭载 Dual arm effector（双机械臂），晶圆定位精度 ±0.1mm，单枚晶圆腔室交换时长＜8s，系统整体 Throughput（吞吐量）最高 120 片 / 小时，晶圆寻边 Notch 识别误差＜0.05°。真空系统基础抽背压力 80mTorr，传输腔静态泄漏速率≤0.1Pa/s，腔内壁采用阳极氧化铝陶瓷涂层，配套 MKS 真空压力计，量程覆盖 100–10000mTorr。机械臂吸盘采用 PI（聚酰亚胺）材质，耐温 250℃，年吸附力衰减低于 5%，传动皮带循环寿命 10 万次，整机 MTTR（平均修复时长）＜30min，设备综合利用率＞95%。温控系统搭载 Pt100 热电偶，PID 闭环控温精度 ±2℃，管线伴热功率 300W/m，超温 10% 自动切断动力回路，信号传输采用光纤 + RS485 双链路，功率输出波动稳定 ±1%。
二手设备保养规范：存储环境维持 20–25℃、湿度 40%–60%，氮气密封避光存放；每月执行机械臂空载循环测试，无尘布搭配无水乙醇擦拭关节与光学传感器；每季度拆解真空密封件，更换老化氟橡胶密封圈，检测腔室泄漏；每年更换传动皮带、晶圆吸盘，校准机械臂定位零点，全程佩戴防静电手环执行 LOTO 断电挂牌操作，留存设备运行、真空、温度检测台账。
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