本机搭载 ICCS（Infinity Color Contrast System 无限远色差反差校正光学系统），标配 W-PI 10×/23 宽视场目镜，视场数 FN23，瞳距调节区间 48mm-75mm，视度补偿 ±5；配备 6 孔 M27 物镜转盘，适配 EC Epiplan-Neofluar 系列金相物镜，倍率覆盖 5×/0.13、10×/0.25、20×/0.50、50×/0.80、100× 油镜，整机总放大倍率 50× 至 1000×，适配半导体 Wafer 切片、Metal Film 金属镀层、Die 截面金相观测。反射光源采用 12V 100W HAL 卤素灯，兼容 LED 冷光源；反射光模块支持 Bright Field 明场、ADF 暗场、DIC 微分干涉、POL 偏光多模式切换。机械载物台 X/Y 行程 75mm×50mm，样品最大高度 380mm，粗调行程 30mm，微调精度 1μm，可承载 8 寸以内半导体晶圆试样；三目观察筒分光比例 100:0/0:100，预留 60N C-MOUNT 相机接口，可搭配 Axiocam 工业 CCD 完成图像采集，配套 ZEN 图像分析软件。
二手设备保养规范：设备安置恒温 18-26℃、湿度≤70% RH 无尘实验室，配备防震台；每日清洁目镜、物镜外表面，使用无水乙醇擦拭载物台；每月吹扫镜筒光路灰尘，季度更换卤素灯泡、校准 DIC 微分干涉偏移；闲置长期存放时加盖防尘罩，每半年检查光路密封圈，定期校验微调对焦精度，避免半导体样品观测出现边缘畸变。
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