本机为 Vertical 立式 300mm（12 英寸）Diffusion Furnace 扩散炉，搭载 Zeston-III 六段独立温控加热区，工艺温度区间 680℃-1250℃，恒温区温度稳定性 ±1℃，最大升温速率 20℃/min、降温速率 9℃/min，单石英 Boat 标准载片量 100 片 300mm Wafer。整机配套 CX3010 工艺控制器，支持多组 PID 参数存储、SECS/GEM 产线通讯，多路 MFC Mass Flow Controller 精准管控 O₂、N₂、H₂、Dichlorosilane 等工艺气体，适配 Thermal Oxide 热氧化、离子扩散、Metal Anneal 金属退火、钴硅化物制程。供电规格分 208V 单相、440V 三相双模式，内置水循环 PCW 冷却系统与 OTCD 过温切断保护，炉腔配微粒拦截滤网、石英防溅射护罩，自动舟传送 Robot 实现无人工上下料。
二手设备分级保养规范：每日巡检冷却水流量、气路检漏；每周吹扫炉管入口微粒过滤器，校准 MFC 气体流量零点；每月校验六区热电偶温度偏差，清洁舟传动轨道润滑；季度拆解炉口密封件更换氟橡胶垫圈，氮吹净化炉腔内壁污染物；年度整体高温烘炉除气，检修加热丝绝缘、传动伺服电机，规避温区偏移、气体配比失准、颗粒超标等二手设备通病。
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