二手DISCO DFD6361 晶圆切割机技术规格详解
作者:
海翔科技
作者机构:
海翔科技
发表时间:
2026-07-01

#半导体

合规声明:本文参数均源自DISCO官方公开产品手册,仅供技术交流,不做商业用途。DISCO DFD6361为全自动晶圆切割机(Fully Automatic Wafer Dicing Saw),适配最大Φ300mm(12英寸)晶圆(Wafer)加工,采用对向式双主轴(Dual Spindle)架构,有效压缩主轴间距,提升半导体晶圆切割制程效率。

合规声明:本文参数均源自DISCO官方公开产品手册,仅供技术交流,不做商业用途。DISCO DFD6361为全自动晶圆切割机(Fully Automatic Wafer Dicing Saw),适配最大Φ300mm(12英寸)晶圆(Wafer)加工,采用对向式双主轴(Dual Spindle)架构,有效压缩主轴间距,提升半导体晶圆切割制程效率。

设备主轴(Spindle)支持多功率配置,1.2kW、1.8kW规格额定扭矩为0.19N·m、0.29N·m,2.2kW高功率版本适配SiC、GaN等宽禁带半导体硬脆材料切割。设备θ轴最大旋转角度380°,搭配高精度X/Y/Z三轴位移系统,可实现微米级精密定位,满足半导体芯片(Chip)、封装基板精密切筋划片需求。设备适配工业标准冷却工况,冷却水压力0.2–0.5MPa,恒温20–25℃,保障切割稳定性。

二手设备日常保养遵循原厂规范:定期清洁主轴切削粉尘与冷却水路,避免水路堵塞;校准非接触式原点设定(NCS)精度,保障对位准确度;定期检测主轴转速稳定性与刀片损耗,及时更换切割刀片(Dicing Blade);常态化维护高倍显微对位模组,杜绝图像偏移,维持设备长期加工精度。

该机型凭借稳定的双主轴切割性能、大尺寸晶圆适配能力,是半导体后道封装(Packaging)主流精密切割设备,二手合规维保后可稳定适配量产与研发制程。


二手DISCO DFD6361 晶圆切割机技术规格详解


二手DISCO DFD6361 晶圆切割机技术规格详解

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