二手全欧光学 光学MTF传递函数测量仪技术规格详解
作者:
海翔科技
作者机构:
海翔科技
发表时间:
2026-07-09

#半导体

全欧光学TRIOPTICS ImageMaster® PRO 9是半导体光学检测领域专用的调制传递函数(Modulation Transfer Function, MTF)精密测量设备,适配镜头、光学模组等半导体光电元件性能检测,参数具备高精度、高稳定性特点。该设备轴上MTF(On-axis MTF)测量精度可达1.0%,轴外MTF(Off-axis MTF)测量精度为2.0%,最高空间测量频率可达350 lp/mm,可满足高精度光学器件检测需求。设备单样本测量耗时1.3s,每小时产能(UPH)可达2700,配置27个视场位置、54个测量点位,全方位覆盖光学成像性能检测维度。

全欧光学TRIOPTICS ImageMaster® PRO 9是半导体光学检测领域专用的调制传递函数(Modulation Transfer Function, MTF)精密测量设备,适配镜头、光学模组等半导体光电元件性能检测,参数具备高精度、高稳定性特点。该设备轴上MTF(On-axis MTF)测量精度可达1.0%,轴外MTF(Off-axis MTF)测量精度为2.0%,最高空间测量频率可达350 lp/mm,可满足高精度光学器件检测需求。设备单样本测量耗时1.3s,每小时产能(UPH)可达2700,配置27个视场位置、54个测量点位,全方位覆盖光学成像性能检测维度。

设备支持最大215°视场角(Field of View, FOV)检测,焦距(Effective Focal Length, EFL)测量精度误差≤±0.3%,对焦深度(Depth of Focus, DOF)精准度可达3μm,成像面倾斜度控制在0.02°以内,所有测量数据均可溯源国际ISO标准,适配洁净室(Cleanroom)作业环境。

二手设备运维需遵循专业保养规范:定期清洁光学镜头、CCD检测模组,避免粉尘污染影响MTF检测精度;断电闲置时做好设备防尘、防潮防护;每季度校准光学基准点位与测量算法参数,保障设备长期测量稳定性;定期检查LED光源模组损耗情况,及时更换老化配件。


二手全欧光学 光学MTF传递函数测量仪技术规格详解


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