本机为 GHR 系列 4 轴 Horizontal Multi-joint 水平多关节 Clean Room Wafer Transfer Robot 洁净晶圆搬运机器人，后缀 280 代表手臂标准伸展长度 280mm，PM 型号搭载备用供电电池模组，适配 300mm（12 英寸）Wafer 大气腔体转运场景，兼容 EFEM 设备、刻蚀、薄膜沉积机台内部物料传输。整机四轴全部搭载 AC Servo 交流伺服电机与 Absolute Encoder 绝对值编码器，断电可留存坐标数据，无需反复原点复位；R 轴手臂最大伸展行程 280mm，平均输送速度 610mm/s，峰值速度 1220mm/s，Theta 旋转轴活动范围 340°，最高转速 500°/s，Z 轴升降 Stroke 行程 300mm，升降峰值速率 320mm/s，全轴采用 S 曲线加减速抑制振动。设备重复定位精度全域控制在 ±0.1mm 以内，单轴最小分辨率 R 轴 12.6μm、Z 轴 6.25μm，第三关节基准额定 Payload 负载≤4kg，标配 CFRP 碳纤维材质 End-effector 真空吸片手指，负压吸附压力≥-53kPa，规避 Wafer 滑移划伤。整机密闭防尘结构独立排气，动态发尘量符合 ISO Class 2 洁净等级，供电标准 DC24V±10%、额定电流 15A，内置 ESD 静电释放防护回路，适配 SECS/GEM 产线通讯对接，底座支持法兰式、落地式两种安装方式，可同步对接 3 组 FOUP 晶圆载盒，搭载 Wafer Mapping 在位检测传感器识别片盒空位。
二手机器人分级保养规范：每日高纯氮气吹扫 CFRP 手指表面颗粒，检查真空管路负压稳定性；每周清理机身驱动部排气滤网，校验伺服电机电池电压，PM 型号备用电池建议 12 个月更换；每月拆解关节拖链清洁线缆氧化触点，加注真空专用低发尘润滑脂，复测四轴原点坐标偏差；季度拆解手臂密封盖板清理内部粉尘，校准真空吸附压力阈值；年度整机拆解伺服电机检测绕组绝缘阻值，更换老化氟橡胶密封件，重新标定全轴运动精度，缓解二手设备定位漂移、真空衰减、手臂抖动、电池失效等故障。
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