本机为 Non-contact 3D Optical Profiler 非接触式三维光学轮廓测量设备，搭载专利 ZDot 点阵共聚焦、ZSI 剪切干涉、ZXI 垂直扫描干涉多模光学系统，适配半导体 Wafer、微纳封装器件 Critical Dimension 与表面形貌检测。整机电动 XY 载台有效行程 150mm×150mm，Z 轴 PZT 压电扫描总行程 40mm，最小 Z 向步进 2nm，垂直测量分辨率可达 0.1nm，台阶高度测量量程覆盖 8nm 至 250μm，采用 NIST 可溯源铬硅台阶标准片校准，台阶高度测量重复性优于 7nm RMS。光学系统搭载三通道宽光谱白光 LED 照明，可装配 5X、10X、20X、50X、100X 多规格 Mirau 干涉物镜，配套 0.35X、0.5X、0.63X 光学耦合器，搭配 1280×960 高清 CMOS 成像探测器，0.5X 耦合搭配 100X 物镜时横向像素分辨率 0.09μm，光学与数字叠加最大总放大倍率 35000X。整机外部尺寸 1000mm×860mm×840mm，自重 65kg，供电规格 AC100–230V、50/60Hz，额定工作电流 4A，标准工作环境恒温 18–30℃、每小时温变≤1℃、无凝露，内置被动隔振基座，可选配主动六维减振平台抑制环境振动干扰。设备搭载 Zeta3D 专业计量软件，可自动测算 Ra、Rq、Rz 粗糙度、台阶高度、薄膜厚度、微凸块体积，支持大视场图像无缝拼接，单片 4 英寸晶圆全自动缺陷扫描耗时 150 秒，单点 PSS 结构计量仅需 30 秒，兼容 SECS/GEM 产线通讯对接，适配 Fab 洁净车间离线质检与研发测量场景。
二手设备分级保养规范：日常维持恒温低尘环境，使用无尘镜头纸擦拭物镜端面，避免光学窗口沾附颗粒；每周清理设备散热滤网，校验 LED 光源亮度均匀度，复测标准台阶片测量数值；每月校准 XY、Z 轴原点坐标，清洁载台传动导轨并加注低发尘专用润滑脂；季度拆解光学塔台吹扫内部光路粉尘，校准 PZT 压电扫描零点偏移；年度整机避光除湿烘烤，检测 CMOS 探测器信噪比，更换老化 LED 光源与密封氟橡胶垫圈，重做整机精度标定，改善二手设备成像噪点上升、测量重复性漂移、载台卡顿等故障。
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