二手THERMALTRONIC PM2 热处理炉技术规格详解
作者:
海翔科技
作者机构:
海翔科技
发表时间:
2026-07-23

#半导体


本款 THERMALTRONIC PM2 属于 Semiconductor PCBA Thermal Processor 半导体线路板专用红外热处理炉,核心用于 BGA 返修、芯片底部预热、晶圆载板烘烤、封装基板去湿制程,整机搭载 Quartz Infrared 石英红外加热模组,采用闭环 PID 多点温控架构,适配 80mm×80mm 至 450mm×350mm 尺寸 PCB、陶瓷载板、薄型 Wafer 载具批量热处理作业。设备温控区间覆盖 80℃至 420℃,单点温控稳态精度 ±0.8℃,炉膛全域温度均匀性≤±1.5℃,升温速率支持 0.5℃/s 至 5℃/s 连续程序可调,降温阶段搭配底部强制风冷模组,最大冷却速率 3℃/s,可精准复刻回流焊、烘烤、恒温浸润多段工艺曲线,支持存储 99 组独立工艺 Recipe 程序,每组程序可设置 20 段阶梯温控逻辑。

加热系统配置上下分区独立功率调控,上部红外加热模组额定输出功率 600W,底部预热加热单元额定功率 400W,整机总峰值功率 1000W,输入电气规格 AC220–240V 单相工频,兼容 50Hz/60Hz 通用供电,额定工作电流 4.6A,设备内置 T 型 K-Type 热电偶多点位测温传感器,测温采样周期 100ms,测温分辨率 0.1℃,配套数字液晶显示屏实时同步显示设定温度、实际炉膛温度、程序运行剩余时长、上下区实时输出功率。整机壳体一体成型防静电 ESD 金属外壳,内置完整静电释放回路,绝缘耐压 1500V DC 无击穿泄漏,满足半导体洁净车间 ISO Class 5 粉尘管控标准,炉膛内部采用耐高温氧化铝隔热棉,保温层厚度 25mm,外壁稳态温度低于 55℃,规避产线高温烫伤风险。

安全联锁与监测系统集成多重硬件保护机制,包含超温切断 OTP 保护、过流 OCP 保护、热电偶断线停机、炉膛门闭合联锁、风机故障告警,温控异常时设备自动切断红外加热功率并声光报警;通讯端口搭载 RS232 串口,支持上位机读取工艺运行日志、温度曲线数据,本地存储模块可留存 1000 组完整工艺曲线记录,便于制程良率追溯与工艺复盘。整机外部外形尺寸 260mm×160mm×320mm,设备自重 3.2kg,标配耐高温硅橡胶炉膛密封垫圈,标配 ESD 隔热载物平台,适配无铅焊料回流、封装基板除湿烘烤、芯片返修预热等半导体后端制程,原厂标称 MTBF 平均无故障运行时长 38000 小时。

二手 THERMALTRONIC PM2 热处理炉分级保养规范:每日设备降温至 80℃以下后,使用无尘无纺布配合无水乙醇擦拭炉膛内壁、红外石英加热管表面残留助焊剂、树脂颗粒物,开机空载运行 5 分钟确认上下加热模组功率输出平稳,核对热电偶实时测温数值无异常偏移;每周拆解设备侧部散热防尘滤网,使用高纯氮气吹扫滤网积尘杂质,检查炉膛门密封硅橡胶垫圈有无老化硬化、破损漏热,紧固设备外部接线端子,校验强制风冷风机转动无卡顿、无异响;每月完全断开设备供电,开盖清洁主控电路板表面积尘,检测 K-Type 热电偶导线有无氧化破损,复测 80℃、180℃、320℃三点标准温度校准曲线,重新调整 PID 温控参数,清理载物平台底部导热残留物;季度更换老化炉膛密封垫圈,检测红外石英加热管透光均匀度,使用标准高精度测温仪整机多点温度均匀性复测,完成整机绝缘耐压安全测试;年度拆解上下红外加热模组,清除加热管表面碳化积垢,检测加热丝电阻值判断老化程度,满功率连续老化测试 12 小时,重新标定全区间温控精度,缓解二手机型温控漂移、加热功率衰减、炉膛漏热、测温失真、风机散热效率下降等典型故障。


二手THERMALTRONIC PM2 热处理炉技术规格详解

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