尼康 NIKON VMR-6555 属于 NEXIV 系列 CNC Video Measuring System(全自动影像测量系统),广泛用于 Semiconductor Package(半导体封装)、PCB、精密元器件二维与三维尺寸检测。设备三轴行程 X×Y×Z 为 650mm×550mm×150mm,光栅尺最小读取分辨率 0.1μm,工作台额定承载重量 30kg。设备单轴精度 U1x、U1y 指标为 1.5+2.5L/1000μm,平面精度 U2xy 为 2.5+2.5L/1000μm,标配 TTL Laser AF(激光自动对焦)与 Vision AF(图像自动对焦),支持 Z 轴高度测量。光学系统搭载多档变焦物镜,配套透射光源、同轴落射光源与八段可调 LED 环形光源,适配微小组件边缘提取。
二手设备运维直接影响测量稳定性,日常保养要点如下:每日使用气吹清理镜头浮尘,搭配无尘镜头纸清洁光学镜片,避免镀膜损伤;及时清理工作台玻璃台面碎屑,防止划伤影响 Edge Detection(边缘识别);定期清洁 X/Y/Z 线性导轨,按需加注专用润滑脂,保障三轴运动平顺;设备需置于恒温减震环境,长期闲置每周通电驱潮;每年完成整机精度校准,复核光栅尺、对焦系统与光学畸变。
该机型大行程特性适配大面积基板、多联半导体器件批量检测,稳定可靠,是产线 Quality Control(品质管控)常用光学量测设备。


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