KLA REVIEW SEM eDR 5210S 是 KLA - Tencor 公司的电子束晶圆缺陷复检工具。用于半导体制造中，能对晶圆缺陷进行高分辨率成像、分类和分析，帮助确定缺陷来源，提升工艺控制和芯片良率。