LAM 底板 810-028296-150 是半导体设备中的关键电路板。功能上，为设备内电子元件提供电气连接和物理支撑，实现信号传输与电源分配，具备高精度信号处理能力和抗干扰性。应用于泛林半导体的蚀刻、薄膜沉积等设备，确保设备各模块间精准通信和协同工作，以满足半导体制造工艺对精度、稳定性和可靠性的严格要求，是保障半导体生产质量和效率的重要组件。