LAM 底板 810 - 328372 - 002 是泛林半导体设备中的电源驱动器板。其功能是提供精准电源控制与分配，有多个独立输出通道，可精确调节电压电流，具备高能效、稳定性强及多种保护机制等特点。该底板应用于半导体制造设备，如蚀刻机、光刻机等，为设备各模块提供稳定电力，确保在复杂工艺中设备能稳定运行，满足半导体生产对电源的高精度要求。