LAM 底板 810-002895-102 是泛林半导体设备中用于阀门控制的电路板。其功能是精确控制阀门的开启、关闭及开度，实现对气体流量、压力等参数的精准调节，具备信号处理、放大及与其他设备通信的能力。该底板应用于泛林半导体的刻蚀、沉积等设备，确保工艺过程中气体输送的稳定性和准确性，满足半导体制造工艺对气体控制的高精度要求，以保障产品质量和生产效率。