LAM 底板 810 - 495659R471 是泛林半导体设备中的电源供应模块1。其功能是为半导体制造设备提供高效、稳定电力，支持高功率密度设计，有多种输出规格，集成过流、过压、过温等保护功能，故障解除后可自动恢复1。该模块采用模块化紧凑设计，易于集成，节省空间1。主要应用于半导体制造设备，确保设备关键子系统在复杂工况下稳定运行，适应全球不同电力系统1。